Номер извещения: 0373100043826000003

Общая информация о закупке

Внимание! За нарушение требований антимонопольного законодательства Российской Федерации о запрете участия в ограничивающих конкуренцию соглашениях, осуществления ограничивающих конкуренцию согласованных действий предусмотрена ответственность в соответствии со ст. 14.32 КоАП РФ и ст. 178 УК РФ

Способ определения поставщика (подрядчика, исполнителя): Электронный аукцион

Наименование электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: ЭТП ТЭК-Торг

Адрес электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: http://www.tektorg.ru/

Размещение осуществляет: Заказчик ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Наименование объекта закупки: Поставка установки электронно-лучевого напыления

Этап закупки: Подача заявок

Сведения о связи с позицией плана-графика: 202603731000438001000016

Контактная информация

Размещение осуществляет: Заказчик

Организация, осуществляющая размещение: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Почтовый адрес: 125412, Г.МОСКВА, вн.тер.г. МУНИЦИПАЛЬНЫЙ ОКРУГ ДМИТРОВСКИЙ, УЛ ИЖОРСКАЯ, Д. 13, СТР. 6

Место нахождения: 125412, Г.МОСКВА, вн.тер.г. МУНИЦИПАЛЬНЫЙ ОКРУГ ДМИТРОВСКИЙ, УЛ ИЖОРСКАЯ, Д. 13, СТР. 6

Ответственное должностное лицо: Дудыкина А. Д.

Адрес электронной почты: tender@itae.ru

Номер контактного телефона: 7-495-4858333

Дополнительная информация: Информация отсутствует

Регион: Москва

Информация о процедуре закупки

Дата и время начала срока подачи заявок: 11.03.2026 14:08 (МСК)

Дата и время окончания срока подачи заявок: 19.03.2026 11:00 (МСК)

Дата проведения процедуры подачи предложений о цене контракта либо о сумме цен единиц товара, работы, услуги: 19.03.2026

Дата подведения итогов определения поставщика (подрядчика, исполнителя): 20.03.2026

Начальная (максимальная) цена контракта

Начальная (максимальная) цена контракта: 71 496 666,67

Валюта: РОССИЙСКИЙ РУБЛЬ

Идентификационный код закупки (ИКЗ): 261771302054977130100100130032790244

Информация о сроках исполнения контракта и источниках финансирования

Срок исполнения контракта (отдельных этапов исполнения контракта) включает в том числе приемку поставленного товара, выполненной работы, оказанной услуги, а также оплату заказчиком поставщику (подрядчику, исполнителю) поставленного товара, выполненной работы, оказанной услуги

Дата начала исполнения контракта: с даты заключения контракта

Срок исполнения контракта: 31.12.2026

Закупка за счет собственных средств организации: Да

Информация об объекте закупки

Код позиции - Наименование товара, работы, услуги - Ед. измерения - Количество (объем работы, услуги) - Цена за ед., ? - Стоимость, ?

- 27.90.40.190 - Установка электронно-лучевого напыления Процессная камера из нержавеющей стали смотровое окно ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением с установленным осветителем для освещения внутреннего объёма камеры ... Габариты размещения (Ш?Г?В), мм 2100 ... Электропитание 380 В, трехфазное, 50 Гц - Штука - 1,00 - 71 496 666,67 - 71 496 666,67

- Наименование характеристики Значение характеристики Единица измерения характеристики Инструкция по заполнению характеристик в заявке Процессная камера из нержавеющей стали смотровое окно ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением с установленным осветителем для освещения внутреннего объёма камеры Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики кронштейн для установки «маски» с возможностью прецизионной корректировки перемещения с целью оптимизации однородности напыления тонких плёнок различных материалов Датчик низкого/высокого вакуума Сухой форвакуумный насос производительностью не менее 30 м3/ч Высоковакуумная безмасляная откачка турбомолекулярным насосом, обеспечивающим требуемое предельное остаточное давление в камере напыления Шиберная задвижка на патрубке насоса стандарта ISO, с пневматическим управлением Необходимые клапаны и вентили на линии форвакуумной откачки Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для прямой откачки камеры Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для напуска сухого азота Электронно-лучевой испаритель с 6 тиглями объемом не менее 15см3, источник электронного луча с разворотом на 270 градусов Источник питания электронно-лучевого испарителя мощностью не менее 10 кВт с контроллером развертки по XY и блоком позиционирования тигля относительно луча Кварцевый водоохлаждаемый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки с пневматической заслонкой Возможность дальнейшего дооснащения Оборудования дополнительным кварцевым датчиком Оптическая система контроля для работы в режимах отражения и пропускания с возможностью установки держателя с не менее, чем трех сменных контрольных образцов. Система должна включать источник освещения и оптический спектрометр с диапазоном работы от 400 до 2000 нм Исполнение сборки манипулятора образца – с помощью фланцевых соединений стандарта CONFLAT с медными уплотнениями Модуль размещения подложек с возможностью нагрева и вращения подложки Вращение (2~20 об/мин) с возможностью плавной регулировки Нагреватель (нагреватель на основе нихромовой спирали, макс. 300 ?) с автоматическим поддержанием температуры ПИД-регулятором перемещение держателя подложки должно осуществляться вместе с нагревателем Заслонка источника электронного луча с внешним приводом и дистанционным управлением режим работы установки: полуавтоматический, ручной автоматизированный процесс откачки установки возможность программирования и сохранения технологических рецептов предустановленное программное обеспечение (ПО) MasterScada ионный источник для реализации процесса ионной очистки подложек перед напылением, с системой защитных экранов, в комплекте с блоком питания, газовой линией с регулятором расхода газа система подачи аргона в ионный источник на основе автоматического регулятора расхода газов чиллер для охлаждения блока электронно-лучевого испарения с хладопроизводительностью не менее 4кВт газовая арматура на основе трубок из нержавеющей стали с внутренней электрохимической полировкой наличие необходимых вакуумных затворов и клапанов наличие блока распределения электропитания наличие блока управления накалом катода наличие блока дистанционного управления позиционированием рабочей ячейки испарителя интегрированное водяное охлаждение дверь быстрой загрузки с уплотнением “Viton” и интегрированным водяным охлаждением (двойная стенка) порт ДУ250 стандарта CONFLAT с медным уплотнением (с установленной заглушкой) для возможности дальнейшего дооснащения Оборудования камерой шлюза легкосъемные экраны из нержавеющей стали для предотвращения запыления камеры, а также для облегчения сбора и утилизации продуктов распыления – не менее двух комплектов экраны должны выдерживать воздействие растворов плавиковой, азотной и соляной кислот для снятия драгметаллов порт для установки электронно-лучевого испарителя порт для установки системы откачки ДУ320 стандарта ISO с уплотнением viton порт ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением для установки датчика вакуума порт для установки источника ионов порт для установки оптической системы контроля смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для прямого визуального контроля ячейки в момент распыления, в том числе под заслонкой в фазе предраспыления материала, с системой защиты от запыления окна, с дополнительной механической заслонкой с ручным внешним приводом система защиты от запыления должна обеспечивать длительное использование за счет перемотки каптоновой ленты в вакууме дополнительное смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для наблюдения за держателем подложки с механической заслонкой с ручным внешним приводом Габариты размещения (Ш?Г?В), мм 2100 Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики 2500 2400 Электропитание 380 В, трехфазное, 50 Гц Значение характеристики не может изменяться участником закупки Размещение Установка размещается в помещении класса 5 ИСО, ГОСТ 14644-1-2002 либо в помещении класса 6 с загрузкой подложек из помещения класса 5. Температура в рабочем помещении 20-25°С при влажности 40-60% Значение характеристики не может изменяться участником закупки Контроллер толщины наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Режимы работы Полуавтоматический, ручной Значение характеристики не может изменяться участником закупки Материал вакуумной камеры Нержавеющая сталь Значение характеристики не может изменяться участником закупки Вакуумная камера с передней дверью наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Водяное охлаждение стенок вакуумной камеры наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Тип форвакуумного насоса Сухой форвакуумный насос Значение характеристики не может изменяться участником закупки Высоковакуумная безмасляная откачка (турбомолекулярный насос) наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Форвакуумный датчик типа Пирани наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Высоковакуумный датчик типа Холодный катод (Cold Cathode) наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальная загрузка подложек диаметром 100 мм ? 6 Штука Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Скорость вращения держателя подложки, об/мин 2-20 Значение характеристики не может изменяться участником закупки Тип уплотнения механизма вращения магнитножидкостное Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальная температура нагрева держателя подложки, °С 300 Градус Цельсия Значение характеристики не может изменяться участником закупки Тип нагревателя на основе нихромовой спирали Значение характеристики не может изменяться участником закупки Количество тиглей ЭЛИ ? 6 Штука Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Объем одного тигля ЭЛИ ? 15 Кубический сантиметр; миллилитр Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Максимальная мощность блока питания ЭЛИ 10 Киловатт Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальное напряжение ЭЛИ 10 Киловольт Значение характеристики не может изменяться участником закупки Контроллер развертки луча по XY наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Заслонка ЭЛИ наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Кварцевый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Заслонка кварцевого датчика прецизионного измерения толщины наносимой плёнки наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Ионный источник для очистки подложек наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Оптическая система контроля на основе источника и приемников для отражения и пропускания наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Мощность ионного источника, эВ 20-200 Значение характеристики не может изменяться участником закупки Заслонка ионного источника наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Предельное остаточное давление в камере напыления, Па, не более 1,0х10-4 Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Неоднородность напыления титана (Ti) для пластины диаметром 100 мм (не включая край 5 мм), с применением технологии «маски», %, не более ±3 Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Наименование характеристики - Значение характеристики - Единица измерения характеристики - Инструкция по заполнению характеристик в заявке - Процессная камера из нержавеющей стали - смотровое окно ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением с установленным осветителем для освещения внутреннего объёма камеры - - Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики - кронштейн для установки «маски» с возможностью прецизионной корректировки перемещения с целью оптимизации однородности напыления тонких плёнок различных материалов - Датчик низкого/высокого вакуума - Сухой форвакуумный насос производительностью не менее 30 м3/ч - Высоковакуумная безмасляная откачка турбомолекулярным насосом, обеспечивающим требуемое предельное остаточное давление в камере напыления - Шиберная задвижка на патрубке насоса стандарта ISO, с пневматическим управлением - Необходимые клапаны и вентили на линии форвакуумной откачки - Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для прямой откачки камеры - Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для напуска сухого азота - Электронно-лучевой испаритель с 6 тиглями объемом не менее 15см3, источник электронного луча с разворотом на 270 градусов - Источник питания электронно-лучевого испарителя мощностью не менее 10 кВт с контроллером развертки по XY и блоком позиционирования тигля относительно луча - Кварцевый водоохлаждаемый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки с пневматической заслонкой - Возможность дальнейшего дооснащения Оборудования дополнительным кварцевым датчиком - Оптическая система контроля для работы в режимах отражения и пропускания с возможностью установки держателя с не менее, чем трех сменных контрольных образцов. Система должна включать источник освещения и оптический спектрометр с диапазоном работы от 400 до 2000 нм - Исполнение сборки манипулятора образца – с помощью фланцевых соединений стандарта CONFLAT с медными уплотнениями - Модуль размещения подложек с возможностью нагрева и вращения подложки - Вращение (2~20 об/мин) с возможностью плавной регулировки - Нагреватель (нагреватель на основе нихромовой спирали, макс. 300 ?) с автоматическим поддержанием температуры ПИД-регулятором - перемещение держателя подложки должно осуществляться вместе с нагревателем - Заслонка источника электронного луча с внешним приводом и дистанционным управлением - режим работы установки: полуавтоматический, ручной - автоматизированный процесс откачки установки - возможность программирования и сохранения технологических рецептов - предустановленное программное обеспечение (ПО) MasterScada - ионный источник для реализации процесса ионной очистки подложек перед напылением, с системой защитных экранов, в комплекте с блоком питания, газовой линией с регулятором расхода газа - система подачи аргона в ионный источник на основе автоматического регулятора расхода газов - чиллер для охлаждения блока электронно-лучевого испарения с хладопроизводительностью не менее 4кВт - газовая арматура на основе трубок из нержавеющей стали с внутренней электрохимической полировкой - наличие необходимых вакуумных затворов и клапанов - наличие блока распределения электропитания - наличие блока управления накалом катода - наличие блока дистанционного управления позиционированием рабочей ячейки испарителя - интегрированное водяное охлаждение - дверь быстрой загрузки с уплотнением “Viton” и интегрированным водяным охлаждением (двойная стенка) - порт ДУ250 стандарта CONFLAT с медным уплотнением (с установленной заглушкой) для возможности дальнейшего дооснащения Оборудования камерой шлюза - легкосъемные экраны из нержавеющей стали для предотвращения запыления камеры, а также для облегчения сбора и утилизации продуктов распыления – не менее двух комплектов - экраны должны выдерживать воздействие растворов плавиковой, азотной и соляной кислот для снятия драгметаллов - порт для установки электронно-лучевого испарителя - порт для установки системы откачки ДУ320 стандарта ISO с уплотнением viton - порт ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением для установки датчика вакуума - порт для установки источника ионов - порт для установки оптической системы контроля - смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для прямого визуального контроля ячейки в момент распыления, в том числе под заслонкой в фазе предраспыления материала, с системой защиты от запыления окна, с дополнительной механической заслонкой с ручным внешним приводом - система защиты от запыления должна обеспечивать длительное использование за счет перемотки каптоновой ленты в вакууме - дополнительное смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для наблюдения за держателем подложки с механической заслонкой с ручным внешним приводом - Габариты размещения (Ш?Г?В), мм - 2100 - - Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики - 2500 - 2400 - Электропитание - 380 В, трехфазное, 50 Гц - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Размещение - Установка размещается в помещении класса 5 ИСО, ГОСТ 14644-1-2002 либо в помещении класса 6 с загрузкой подложек из помещения класса 5. Температура в рабочем помещении 20-25°С при влажности 40-60% - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Контроллер толщины - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Режимы работы - Полуавтоматический, ручной - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Материал вакуумной камеры - Нержавеющая сталь - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Вакуумная камера с передней дверью - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Водяное охлаждение стенок вакуумной камеры - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Тип форвакуумного насоса - Сухой форвакуумный насос - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Высоковакуумная безмасляная откачка (турбомолекулярный насос) - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Форвакуумный датчик типа Пирани - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Высоковакуумный датчик типа Холодный катод (Cold Cathode) - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальная загрузка подложек диаметром 100 мм - ? 6 - Штука - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Скорость вращения держателя подложки, об/мин - 2-20 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Тип уплотнения механизма вращения - магнитножидкостное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальная температура нагрева держателя подложки, °С - 300 - Градус Цельсия - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Тип нагревателя - на основе нихромовой спирали - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Количество тиглей ЭЛИ - ? 6 - Штука - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Объем одного тигля ЭЛИ - ? 15 - Кубический сантиметр; миллилитр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Максимальная мощность блока питания ЭЛИ - 10 - Киловатт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальное напряжение ЭЛИ - 10 - Киловольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Контроллер развертки луча по XY - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Заслонка ЭЛИ - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Кварцевый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Заслонка кварцевого датчика прецизионного измерения толщины наносимой плёнки - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Ионный источник для очистки подложек - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Оптическая система контроля на основе источника и приемников для отражения и пропускания - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Мощность ионного источника, эВ - 20-200 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Заслонка ионного источника - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Предельное остаточное давление в камере напыления, Па, не более - 1,0х10-4 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Неоднородность напыления титана (Ti) для пластины диаметром 100 мм (не включая край 5 мм), с применением технологии «маски», %, не более - ±3 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Наименование характеристики - Значение характеристики - Единица измерения характеристики - Инструкция по заполнению характеристик в заявке

Процессная камера из нержавеющей стали - смотровое окно ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением с установленным осветителем для освещения внутреннего объёма камеры - - Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики

кронштейн для установки «маски» с возможностью прецизионной корректировки перемещения с целью оптимизации однородности напыления тонких плёнок различных материалов

Датчик низкого/высокого вакуума

Сухой форвакуумный насос производительностью не менее 30 м3/ч

Высоковакуумная безмасляная откачка турбомолекулярным насосом, обеспечивающим требуемое предельное остаточное давление в камере напыления

Шиберная задвижка на патрубке насоса стандарта ISO, с пневматическим управлением

Необходимые клапаны и вентили на линии форвакуумной откачки

Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для прямой откачки камеры

Патрубок ДУ40 стандарта CONFLAT с медным уплотнением с угловым клапаном пневматического управления для напуска сухого азота

Электронно-лучевой испаритель с 6 тиглями объемом не менее 15см3, источник электронного луча с разворотом на 270 градусов

Источник питания электронно-лучевого испарителя мощностью не менее 10 кВт с контроллером развертки по XY и блоком позиционирования тигля относительно луча

Кварцевый водоохлаждаемый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки с пневматической заслонкой

Возможность дальнейшего дооснащения Оборудования дополнительным кварцевым датчиком

Оптическая система контроля для работы в режимах отражения и пропускания с возможностью установки держателя с не менее, чем трех сменных контрольных образцов. Система должна включать источник освещения и оптический спектрометр с диапазоном работы от 400 до 2000 нм

Исполнение сборки манипулятора образца – с помощью фланцевых соединений стандарта CONFLAT с медными уплотнениями

Модуль размещения подложек с возможностью нагрева и вращения подложки

Вращение (2~20 об/мин) с возможностью плавной регулировки

Нагреватель (нагреватель на основе нихромовой спирали, макс. 300 ?) с автоматическим поддержанием температуры ПИД-регулятором

перемещение держателя подложки должно осуществляться вместе с нагревателем

Заслонка источника электронного луча с внешним приводом и дистанционным управлением

режим работы установки: полуавтоматический, ручной

автоматизированный процесс откачки установки

возможность программирования и сохранения технологических рецептов

предустановленное программное обеспечение (ПО) MasterScada

ионный источник для реализации процесса ионной очистки подложек перед напылением, с системой защитных экранов, в комплекте с блоком питания, газовой линией с регулятором расхода газа

система подачи аргона в ионный источник на основе автоматического регулятора расхода газов

чиллер для охлаждения блока электронно-лучевого испарения с хладопроизводительностью не менее 4кВт

газовая арматура на основе трубок из нержавеющей стали с внутренней электрохимической полировкой

наличие необходимых вакуумных затворов и клапанов

наличие блока распределения электропитания

наличие блока управления накалом катода

наличие блока дистанционного управления позиционированием рабочей ячейки испарителя

интегрированное водяное охлаждение

дверь быстрой загрузки с уплотнением “Viton” и интегрированным водяным охлаждением (двойная стенка)

порт ДУ250 стандарта CONFLAT с медным уплотнением (с установленной заглушкой) для возможности дальнейшего дооснащения Оборудования камерой шлюза

легкосъемные экраны из нержавеющей стали для предотвращения запыления камеры, а также для облегчения сбора и утилизации продуктов распыления – не менее двух комплектов

экраны должны выдерживать воздействие растворов плавиковой, азотной и соляной кислот для снятия драгметаллов

порт для установки электронно-лучевого испарителя

порт для установки системы откачки ДУ320 стандарта ISO с уплотнением viton

порт ДУ40CF стандарта CONFLAT с медным уплотнением для установки датчика вакуума

порт для установки источника ионов

порт для установки оптической системы контроля

смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для прямого визуального контроля ячейки в момент распыления, в том числе под заслонкой в фазе предраспыления материала, с системой защиты от запыления окна, с дополнительной механической заслонкой с ручным внешним приводом

система защиты от запыления должна обеспечивать длительное использование за счет перемотки каптоновой ленты в вакууме

дополнительное смотровое окно ДУ100 стандарта CONFLAT с медным уплотнением для наблюдения за держателем подложки с механической заслонкой с ручным внешним приводом

Габариты размещения (Ш?Г?В), мм - 2100 - - Участник закупки указывает в заявке все значения характеристики

2500

2400

Электропитание - 380 В, трехфазное, 50 Гц - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Размещение - Установка размещается в помещении класса 5 ИСО, ГОСТ 14644-1-2002 либо в помещении класса 6 с загрузкой подложек из помещения класса 5. Температура в рабочем помещении 20-25°С при влажности 40-60% - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Контроллер толщины - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Режимы работы - Полуавтоматический, ручной - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Материал вакуумной камеры - Нержавеющая сталь - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Вакуумная камера с передней дверью - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Водяное охлаждение стенок вакуумной камеры - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Тип форвакуумного насоса - Сухой форвакуумный насос - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Высоковакуумная безмасляная откачка (турбомолекулярный насос) - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Форвакуумный датчик типа Пирани - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Высоковакуумный датчик типа Холодный катод (Cold Cathode) - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальная загрузка подложек диаметром 100 мм - ? 6 - Штука - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Скорость вращения держателя подложки, об/мин - 2-20 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Тип уплотнения механизма вращения - магнитножидкостное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальная температура нагрева держателя подложки, °С - 300 - Градус Цельсия - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Тип нагревателя - на основе нихромовой спирали - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Количество тиглей ЭЛИ - ? 6 - Штука - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Объем одного тигля ЭЛИ - ? 15 - Кубический сантиметр; миллилитр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Максимальная мощность блока питания ЭЛИ - 10 - Киловатт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальное напряжение ЭЛИ - 10 - Киловольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Контроллер развертки луча по XY - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Заслонка ЭЛИ - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Кварцевый датчик прецизионного измерения толщины наносимой плёнки - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Заслонка кварцевого датчика прецизионного измерения толщины наносимой плёнки - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Ионный источник для очистки подложек - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Оптическая система контроля на основе источника и приемников для отражения и пропускания - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Мощность ионного источника, эВ - 20-200 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Заслонка ионного источника - наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Предельное остаточное давление в камере напыления, Па, не более - 1,0х10-4 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Неоднородность напыления титана (Ti) для пластины диаметром 100 мм (не включая край 5 мм), с применением технологии «маски», %, не более - ±3 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Преимущества, требования к участникам

Преимущества: Не установлены

Требования к участникам: 1. Требование об отсутствии в реестре недобросовестных поставщиков (подрядчиков, исполнителей) информации, включенной в такой реестр в связи отказом поставщика (подрядчика, исполнителя) от исполнения контракта по причине введения в отношении заказчика санкций и (или) мер ограничительного характера 2. Требования к участникам закупок в соответствии с ч. 2.1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ 2.1? Требования в соответствии c пунктом 4 ПП РФ от 29.12.2021 №2571 Дополнительные требования Наличие у участника закупки опыта исполнения (с учетом правопреемства) в течение трех лет до даты подачи заявки на участие в закупке контракта или договора, заключенного в соответствии с Федеральным законом от 18 июля 2011 года № 223-ФЗ «О закупках товаров, работ, услуг отдельными видами юридических лиц» при условии исполнения таким участником закупки требований об уплате неустоек (штрафов, пеней), предъявленных при исполнении таких контракта, договора. Стоимость исполненных обязательств по таким контракту, договору должна составлять не менее двадцати процентов начальной (максимальной) цены контракта. Информация и документы, подтверждающие соответствие участника закупки дополнительному требованию, установленному в соответствии с частью 2.1 ст. 31 Закона о контрактной системе, являются информация и документы, предусмотренные хотя бы одним из следующих подпунктов: а) номер реестровой записи в предусмотренном Законом о контрактной системе реестре контрактов, заключенных заказчиками (в случае исполнения участником закупки контракта, информация и документы в отношении которого включены в установленном порядке в такой реестр и размещены на официальном сайте единой информационной системы в информационно-телекоммуникационной сети "Интернет"); б) выписка из предусмотренного Законом о контрактной системе реестра контрактов, содержащего сведения, составляющие государственную тайну (в случае исполнения участником закупки контракта, информация о котором включена в установленном порядке в такой реестр); в) исполненный контракт, заключенный в соответствии с Законом о контрактной системе, или договор, заключенный в соответствии с Федеральным законом "О закупках товаров, работ, услуг отдельными видами юридических лиц", а также акт приемки поставленных товаров, выполненных работ, оказанных услуг, подтверждающий цену поставленных товаров, выполненных работ, оказанных услуг. 3. Требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1.1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ 4. Единые требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ Показать все (5)

Применение национального режима по ст. 14 Закона № 44-ФЗ

Применение национального режима по ст. 14 Закона № 44-ФЗ: Основанием для установки указания запретов, ограничений закупок товаров, происходящих из иностранных государств, выполняемых работ, оказываемых услуг иностранными лицами, а так же преимуществ в отношении товаров российского происхождения, а также товаров происходящих из стран ЕАЭС, выполняемых работ, оказываемых услуг российскими лицами, а также лицами, зарегистрированными в странах ЕАЭС, является Постановление Правительства Российской Федерации о мерах по предоставлению национального режима от 23.12.2024 № 1875.

Обеспечение заявки

Требуется обеспечение заявки: Да

Размер обеспечения заявки: 357 483,33 РОССИЙСКИЙ РУБЛЬ

Порядок внесения денежных средств в качестве обеспечения заявки на участие в закупке, а также условия гарантии: Обеспечение заявки на участие в закупке предоставляется по выбору участника закупки одним из следующих способов: путем блокирования денежных средств, внесенных участником закупки на банковский счет, открытый таким участником в банке, включенном в перечень, утвержденный Правительством РФ (далее - специальный счет) либо путем предоставления независимой гарантии, соответствующей требованиям статьи 45 Закона № 44-ФЗ. Срок действия независимой гарантии должен составлять не менее месяца с даты окончания срока подачи заявок. Участник закупки для подачи заявки на участие в закупке выбирает с использованием электронной площадки способ обеспечения такой заявки путем указания реквизитов специального счета или указания номера реестровой записи из реестра независимых гарантий, размещенного в ЕИС. Независимая гарантия должна быть составлена по соответствующей типовой форме, утвержденной постановлением Правительства РФ от 08.11.2013 № 1005. В случаях, предусмотренных постановлением Правительства РФ от 10.04.2023 № 579, денежные средства в качестве обеспечения заявки могут быть внесены на счет заказчика.

Реквизиты счета для учета операций со средствами, поступающими заказчику: p/c 03214643000000017300, л/c 20736Ц19810, БИК 004525988, ОКЦ № 1 ГУ Банка России по ЦФО//УФК ПО Г. МОСКВЕ, г Москва, к/c 40102810545370000003

Условия контракта

Место поставки товара, выполнения работы или оказания услуги: Российская Федерация, г Москва, вн.тер.г. муниципальный округ Дмитровский, ул Ижорская, д. 13 стр. 6

Предусмотрена возможность одностороннего отказа от исполнения контракта в соответствии со ст. 95 Закона № 44-ФЗ: Да

Обеспечение исполнения контракта

Требуется обеспечение исполнения контракта: Да

Размер обеспечения исполнения контракта: 357 483,33 ? (0,5 %)

Порядок предоставления обеспечения исполнения контракта, требования к обеспечению: Обеспечение исполнения контракта предоставляется по выбору участника закупки одним из следующих способов: путем внесения денежных средств на счет заказчика, указанный ниже, либо путем предоставления независимой гарантии, соответствующей требованиям статьи 45 Закона 44-ФЗ. Срок действия независимой гарантии должен превышать предусмотренный контрактом срок исполнения обязательств, которые должны быть обеспечены такой независимой гарантией, не менее чем на один месяц, в том числе в случае его изменения в соответствии со статьей 95 Закона 44-ФЗ. Независимая гарантия должна быть составлена по соответствующей типовой форме, утвержденной постановлением Правительства РФ от 08.11.2013 № 1005. Документ, подтверждающий предоставление обеспечения исполнения контракта участник закупки размещает на электронной площадке одновременно с размещением подписанного со своей стороны проекта контракта.

Платежные реквизиты для обеспечения исполнения контракта: p/c 03214643000000017300, л/c 20736Ц19810, БИК 004525988, ОКЦ № 1 ГУ Банка России по ЦФО//УФК ПО Г. МОСКВЕ, г Москва, к/c 40102810545370000003

Требования к гарантии качества товара, работы, услуги

Требуется гарантия качества товара, работы, услуги: Да

Срок, на который предоставляется гарантия и (или) требования к объему предоставления гарантий качества товара, работы, услуги: Гарантийный срок эксплуатации Товара определяется гарантией производителя Товара, подтверждается документами от производителя Товара и исчисляется с даты подписания Заказчиком документа о приемке Товара в ЕИС.

Информация о требованиях к гарантийному обслуживанию товара:

Требования к гарантии производителя товара:

Информация о банковском и (или) казначейском сопровождении контракта

Банковское или казначейское сопровождение контракта не требуется

Документы

Общая информация

Документы

Журнал событий